主要用于电真空器件的排气、烘烤、老练
工艺过程程序自动控制
极限真空度:5×10-9Pa.
烘箱有效内尺寸Ф600×800mm，有效提升降高度为1200mm
烘箱最高烘烤温度650℃, 控制精度±2%.
