容器尺寸为:Ф1200×1000mm(直段部分)
液氮与机械变温双系统,液氮系统连接热沉提供环境温度,机械变温系统连接冷板控制工件温度
热沉温度100K,工件控温底板温度为-70℃~+130℃
低温泵系统,系统极限真空